產品特點：

1.      5寸彩色觸摸屏操作界面，采用45°傾斜角度設計，符合人體工程學，操作簡單友好。

2.      PLC自動監測控制工藝參數，參數可存儲，手動、自動兩種模式任意切換。

3.      艙門，流量計內凹式設計，防止不小心磕碰損壞，更大氣美觀。

4.      松下高精度數字真空壓力表，實時檢測顯示艙體內真實真空度，提供論文真實數據。

5.      氣體浮子流量計或質量流量計（MFC），可對多種氣體精準控制。

6.      不銹鋼或石英真空艙體可選，艙體管路采用耐腐蝕材料。

7.      進氣端口，氣體返填端口均配有高效過濾器，有效過濾空氣中的污染顆粒及水分。

8.      真空泵配有油霧過濾器，可有效隔絕油氣溢散，保護實驗環境。

9.      使用成本低，無需進行特殊維護，日常使用中保持儀器清潔即可。

10.    具備優良的安全保護措施，射頻模塊溫度異常升高時，自動關閉電源，保護樣品，提高設備安全性和穩定性。

等離子清洗機應用領域，納米材料學，半導體，微電子，光學，電子學，微流控生物學，石墨烯，再造醫學等領域

技術參數